我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束

中国原子能科学研究院成功研制出我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）并顺利出束。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造四大核心装备，此前该类高能设备在我国完全依赖进口。

原子能院通过串列加速器技术，掌握了从底层原理到整机集成的正向设计能力，打破了国外在该领域的技术封锁。此项成果将提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力。

中国核技术网

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